上海2013年6月17日電 /美通社/ -- 盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司接獲SK海力士半導(dǎo)體（中國(guó)）有限公司的一臺(tái)12英寸8腔SAPS兆聲波單片清洗設(shè)備訂單，預(yù)計(jì)7月中旬交貨。這是暨2013年年初至今，盛美獲得的第7臺(tái)清洗設(shè)備訂單，也是暨2011年獲得韓國(guó)海力士清洗設(shè)備后的重復(fù)訂單。

“盛美已經(jīng)進(jìn)入快速成長(zhǎng)期，該重復(fù)訂單的獲得，證明了韓國(guó)一流半導(dǎo)體制造廠商對(duì)盛美單片清洗設(shè)備優(yōu)越清洗性能以及大生產(chǎn)線(xiàn)上運(yùn)行可靠性的肯定。”盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司的創(chuàng)始人、首席執(zhí)行官王暉博士說(shuō)，“我們將繼續(xù)擴(kuò)展國(guó)內(nèi)外客戶(hù)群，有信心使SAPS兆聲波這一個(gè)具有差異性的清洗技術(shù)在28納米以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)成為行業(yè)主流技術(shù)。”

這臺(tái)單片清洗機(jī)裝備了盛美的SAPS（Space Alternated Phase Shift）空間交變相移技術(shù)，以及三種獨(dú)立化學(xué)液的供液系統(tǒng)。可去除傳統(tǒng)清洗方法無(wú)法去除的微小顆粒以及化學(xué)煙霧沉積，從而在清洗后芯片良率上獲得較大提升。

關(guān)于盛美

盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司于1998年在美國(guó)硅谷成立，致力于研究無(wú)應(yīng)力拋光與鍍銅設(shè)備。2006年9月盛美開(kāi)始在亞洲發(fā)展，并與上海創(chuàng)投一起成立盛美半導(dǎo)體上海合資公司。公司坐落在上海張江高科技園區(qū)，進(jìn)行研究、開(kāi)發(fā)、工程設(shè)計(jì)、制造 、以及售后服務(wù)。盛美精于濕式的半導(dǎo)體設(shè)備：無(wú)應(yīng)力拋光、鍍銅、與兆聲波單片清洗設(shè)備。盛美具有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，已經(jīng)獲得60多個(gè)國(guó)際專(zhuān)利，還有100多個(gè)專(zhuān)利正在申請(qǐng)中。盛美可以為客戶(hù)提供可靠的先進(jìn)技術(shù)解決方案以及世界一流的售后服務(wù)，降低設(shè)備的擁有成本。